中国自主研发EUV(极紫外)最晚需要多长时间?Deepseek:15年!光刻机
中国自主研发EUV(极紫外)最晚需要多长时间?Deepseek:15年!光刻机的时间表受多重复杂因素影响,目前尚无明确时间点,但可以结合技术进展、政策支持和行业挑战进行综合推测。1.技术现状与挑战 光学系统:蔡司的反射镜表面...
【极紫外光刻】新闻资讯
中国自主研发EUV(极紫外)最晚需要多长时间?Deepseek:15年!光刻机的时间表受多重复杂因素影响,目前尚无明确时间点,但可以结合技术进展、政策支持和行业挑战进行综合推测。1.技术现状与挑战 光学系统:蔡司的反射镜表面...
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